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加工实例/单晶硅切割圆柱形记录/直径114 mm,厚度2mm

浏览次数:388次 发布日期:2022-08-04

单晶硅切割圆柱形记录

尺寸长**高:

试样材质

单晶硅

试样描述

切割件为圆形形状,直径114 mm,厚度20mm

加工要求

切割圆柱形。

试样加工机器

JINKE_GKOX3040往复线金刚线切形机

金刚线

金刚石线参数(直径0.37mm,长度300m)

冷却方式

水冷却液浇注冷却,一方面对金刚石线降温,延迟线的使用寿命,另一方面对切割面降温,减小温度对试样的影响。


第一刀

加工实例/单晶硅切割圆柱形记录/直径114 mm,厚度2mm

单晶硅切割圆柱效果

单晶硅切割效果

第一刀切割要求及数据

项目

单位

数据

备注

切割厚度

mm

20


切割直径

mm

10


切割周长

mm

31.4


切割速度

mm/s

0.04


切割速度

mm/Min

2.4


清角时间

s

10


金刚线速度

m/s

5


金刚线补偿

mm

0.18


切割时间

h

20


第一刀切割结果

切割完尺寸:不规则


第二刀

加工实例/单晶硅切割圆柱形记录/直径114 mm,厚度2mm

单晶硅切割效果

单晶硅切割效果

第二刀切割要求及数据

项目

单位

数据

备注

切割厚度

mm

20


切割直径

mm

5.2


切割周长

mm

16.328


切割速度

mm/s

0.02


切割速度

mm/Min

1.2


清角时间

s

9


金刚线速度

m/s

7


金刚线补偿

mm

0.18


切割时间

h

23


第二刀切割结果

切割完尺寸:直径5.04mm


第三刀

加工实例/单晶硅切割圆柱形记录/直径114 mm,厚度2mm

单晶硅切割效果

单晶硅切割效果

第三刀切割要求及数据

项目

单位

数据

备注

切割厚度

mm

20


切割直径

mm

10


切割周长

mm

31.4


切割速度

mm/s

0.02


切割速度

mm/Min

1.2


清角时间

s

10


金刚线速度

m/s

7


金刚线补偿

mm

0.18


切割时间

h

31


第三刀切割结果

切割完尺寸:直径9.84mm9.86 mm


第四刀

加工实例/单晶硅切割圆柱形记录/直径114 mm,厚度2mm

第四刀切割要求及数据

项目

单位

数据

备注

切割厚度

mm

20


切割直径

mm

10


切割周长

mm

31.4


切割速度

mm/s

0.01


切割速度

mm/Min

0.6


清角时间

s

10


金刚线速度

m/s

7


金刚线补偿

mm

0.18


切割时间

h

120


第四刀切割结果

切割完尺寸:直径9.86mm 9.88mm

单晶硅切割效果

加工实例/单晶硅切割圆柱形记录/直径114 mm,厚度2mm

切割总结:

单晶硅的硬度和脆度都比较高,切割速度越快线痕越明显,今天一共切了四个小样,分别对切割速度、清角时间和金刚石线速进行了调整,由于时间的关系,金刚石线补偿还没做调整来切割,由此可以看出,切割的材料硬度高,切割速度、清角时间、金刚石线速、金刚石线补偿都要做一些调整才能得到一个满意的切割参数。